太陽電池材料製造用ガス　リサイクル

―　住友精化　世界初、供給下支え　―

住友精化は半導体や太陽電池向けシリコンの製造に欠かせないアルゴンガスのリサイクル技術を世界で初めて開発した。2010年春をメドに実用化する。自然エネルギーの一つとして太陽電池の普及が進むなか、今後アルゴンガスの需給が逼迫すると判断。日本企業のリサイクル技術が先端産業の成長を下支えすることになりそうだ。

高純度シリコンの製造工程では、アルゴンガスをシリコンに吹き付け、不純物を取り除く。使用後のガスには一酸化炭素や水素、窒素が混ざるため、再利用するには不純物を除去する必要があった。同社は独自開発の吸着技術を使って純度99.999％のアルゴンを回収できるようにした。シリコン工場で消費するアルゴンガスの70％を再利用できるという。（後略）

（H21.5.6　日経）